CT撮影の種類・特長
PCT(斜めCT):標準搭載しているCT機能
X線検出器を斜めに配置し,X線検出器を回転させて透視画像を撮影することで,CT撮影を行います。
XYステージ上にあるワークはX線発生装置に近づけられるため,ワークの幅によらず拡大してPCT撮影が行えます。
PCT(斜めCT)の特長
基板上のワークの場合,ワークの幅に影響される直交CTとは異なり斜めCTでは高倍率撮影が可能です。
VCT(直交CT):オプション
X線検出器を上方に固定し、ワークを回転させて透視画像を撮影することで、CT撮影を行います。
拡大はワークの幅に依存しますが、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影ができます。
CTユニットを透視ステージにセットし、ソフトウェアタブを切り替えるだけで、VCT撮影が可能です。
サイズ |
基板100 × 150 mm以下 ※上記サイズ内であっても、ワークの大きさ、撮影位置により、専用チャック等の治具が必要になる場合があります。 |
質量 | 200 g 以下 |
VCT(直交CT)の特長
PCTは、斜め方向から撮影した画像をもとに画像再構成を行うため、縦断面画像においてその影響がわずかに出ます。
VCTは、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影するため、縦断面画像が鮮明になります。