特長
高精度と耐環境性を高レベルで両立。精度保証温度範囲15 〜30 ℃ (7/9/5 〜9/24/7サイズ）
保証精度E0, MPE = 0.9+L/350 μm を実現。さらには15 〜30℃の幅広い温度環境下においても E0, MPE=1.2+L/250 μmという高い精度を誇ります。（7/9/5 〜9/24/7 サイズ）
ZEISS PRISMO® シリーズ共通の特長
高精度
- 高精度・高速でのスキャニング測定を実現するアクティブスキャニングセンサ VAST gold搭載
- エアベアリングによる4方向からのガイド支持で、駆動時のねじれを防止
- 温度変化によるガイドの伸縮に影響を受けない、独自のフローティングスケール保持方式
- ブリッジ部に温度変化の影響が極めて少ない材質を使⽤
- 環境温度に左右されない測⻑システム
高効率
- スキャニングパラメータの新設定により、スキャニング測定速度が2倍以上に大幅アップ
- 「VAST Navigator」により⾼精度かつ⾼速でスキャニング測定 Navigator機能(VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時)
- 「VAST Performance」 FlyScan 機能により穴や切り欠き形状を気にせずスキャニング測定(VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時)
- 新機能「ZEISS VAST Rotary Table Axis(ZVRA、オプション) 」によりロータリテーブルの回転軸定義を高速化
- 「CALYPSO VAST probing」によりポイント測定を高速化
- 「VAST Performance」 QuickChange 機能によりスタイラス交換を高速化
高汎用性
- 「massテクノロジ」により接触・非接触問わず様々なセンサを搭載可能
- ロータリテーブルで複雑形状ワークを高精度かつ効率的に測定(オプション)
エコロジカル＆エコノミカル
- エア供給の “アイドリングストップ” 「ZEISS AirSaver」
- 電源の “自動ON/OFFタイマー” 新機能「ZEISS PowerSaver」
