特徴
- マルチレンジ/マルチガス対応
ユーザーサイドでのガス種・フルスケール流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 - ワイドレンジ
微少流量(5SCCM F.S)から大流量(500SLM F.S.)まで制御可能 - 高精度
±1.0% S.P.(セットポイント)保証 - 高速応答
フルレンジ1秒以内(T98) - コンパクトサイズ
面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。 - ウルトラクリーン対応
接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。
仕様
外形寸法図・他（単位：mm）
