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大流量・エコノミーマスフローコントローラ SEC-E Series

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したオールマイティモデルの高精度アナログマスフローコントローラです。10 SCCMから200SLMまでのワイドな流量制御範囲く幅広い産業でお使いいただけます。

特徴

  • 広範囲な流量制御:0.2SCCM~200SLM(N2)

  • 幅広い用途に対応
    一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。

  • ローコストモデルもラインナップ(SEC-E40MK3/E50MK3)

仕様

SEC-E Series 仕様一覧

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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